活用事例
下処理
露光・現像
エッチング
剥離
洗浄
レジスト塗布
用途に合わせた濃度管理
液剤の濃度を一定に保つため濃度を測定します。
雑学
主に保護膜、またショート防止などの目的で塗布されます。基板を保護するための緑色のものが有名ですが、実はレジストには緑色だけではなく、様々な色があります。これらのレジストのカラーバリエーションには、デザイン性の目的だけではなく、基板の配線を隠し、回路設計をわかりにくくするなど、実用的な用途もあるそうです。
雑学
液晶に必要なフォトスペーサーとして、LCDのセルギャップを高度に制御することで、画質の向上を図る目的などでも使われます。例えば、レジストをスペーサーとして高度制御のために使う場合、高度=厚さを厳密に管理することが画質の性能に関係するため、厚さ=濃度管理をインライン計で測定しています。
活用事例
お勧め
モデル
レジストを我々が日常で直接目にすることは、ほとんどありません。
しかしながら、電子・電気製品を動かす電子基盤上や半導体、LCD(液晶)、印刷物など、多くの身近な場所で使われています。
パソコン、タブレットのモニター、液晶テレビなど、昨今、私たちの生活に密接に関係しているものにレジストは必要不可欠です。その市場は日々成長しています。